從設施設置的目的來看，設置中期暫存設施的目的是將放射性廢棄物移至設施內進行中期暫時貯存並妥善管理，之後可再取出送至最終處置場進行最終處置；而設置最終處置設施的目的則是將放射性廢棄物移至設施內之後，設施會妥善封閉，將放射性廢棄物永久與人類生活圈隔離安置。
由於兩者的目的不同，也造成兩者對場址的要求不同。最終處置設施要求場址須能提供天然障壁以遲滯放射性核種遷移，而中期暫存設施的輻防安全以及圍阻放射性核種遷移的功能則由貯存設備、設施建物以及人為的監控管理達成。相較之下，中期暫存設施對場址的要求較最終處置設施單純。
而由於最終處置設施要求場址須能提供天然障壁以遲滯放射性核種遷移，故我國目前就高、低放最終處置均規劃為地下處置(高放處置深度為地下300~1000m，低放處置深度為地下50~70m)，故需額外考量隧道工程、深開挖、地質、地球化學、地球物理與地下水文等相關安全評估技術；而中期暫存設施技術在國際上的作法多為地表設施，屬一般土木建築工程，輻防安全以及圍阻放射性核種遷移的功能均由貯存設備及設施建物本身提供，須符合相關核能法規要求。相較最終處置設施，中期暫存設施不必著墨於隧道工程、深開挖、地質、地球化學、地球物理與地下水文等相關安全評估技術。
台電公司選址作業應遵守「公正的組織體」、「公開參與的程序」、「客觀的標準」等三原則，因此，台電公司向非核家園推動專案小組建議，未來可由行政院成立「選址專責單位」作為「公正的組織體」，成員包括政府代表、專家學者及公民團體，負責擬定選址計畫、遴選場址以及確定選址獎勵、貯存回饋、土地取得補償等方案；而在場址的評選上，則可參照原能會所發布的「集中式放射性廢棄物貯存設施場址規範」作為「客觀的標準」；另外在「公開參與的程序」這方面，則初步規劃導入公眾溝通、徵求自願場址與協議等機制，爭取地方同意成為中期暫存設施場址。
美國藍帶委員會(Blue Ribbon Commission)下之「處置次委員會」（Disposal Subcommittee）基於「共識取向」原則，提出6項較能成功選址的原則方向：美國處置次委員會認為選址程序應具備彈性，而按我國低放選址經驗，就是訂定選址條例規範選址程序，造成選址作業僵化而動彈不得。
參考國際處置設施選址經驗(如芬蘭、瑞典)，多採溝通協議方式取得場址。因此台電參考國外經驗，建議成立公正的組織體，參採客觀的標準，並以公開參與的程序辦理選址作業，最後以溝通協議方式取得場址，避免訂定選址條例而重蹈覆轍。
按台電公司目前的評估，假設核一、二廠內的第一期乾式貯存設施不能啟用，就可能會影響核一、二廠的除役工作而造成延宕，無法順利進行除役工作。
而台電公司目前規劃的中期暫存設施，光是興建期程就可能需要16年(申設階段6年、施工10年)，而且還沒有加上選址作業所需要的時間。因此，等中期暫存設施完成後再來處理電廠內的用過核子燃料是緩不濟急，將會嚴重影響到電廠除役進度，故廠內乾式貯存設施仍然有其必要性。
